智能數(shù)顯壓力傳感器如何進行過載保護?
點擊次數(shù):2004 更新時間:2020-12-15
智能數(shù)顯壓力傳感器是集壓力測量、顯示、控制于一體的智能控制儀表,具有操作簡單,抗震性好,控制精度高,控制范圍可任意調(diào)節(jié),使用壽命長等特點。
智能數(shù)顯壓力傳感器過載保護,過載就是負荷過大,超過了設備本身的額定負載,產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過大,用電設備發(fā)熱,線路長期過載會降低線路絕緣水平,甚至燒毀傳感器設備或線路。
過載保護就是即使負荷超過了額定負載也不會出現(xiàn)燒壞線路的情況,但是也有一個度,一般是150%的范圍內(nèi),而且不能持續(xù)過載工作。
數(shù)顯壓力傳感器有很多形式,每種結(jié)構形式的過載保護都不同,例如采用MEMS技術的小量程、高靈敏壓力傳感器通常有平膜、島膜、梁膜等結(jié)構,在設計過載保護時,一般采用凸臺等方法實現(xiàn),形成方法有背部刻蝕技術、硅直接鍵合技術、玻璃刻蝕技術等。然而這些結(jié)構一般都有一個很大的局限性就是腔體尺寸較大,進一步提高靈敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工藝的復雜度,提高了生產(chǎn)成本。
目前,小量程、高靈敏壓力傳感器的研究熱點集中在犧牲層結(jié)構壓力傳感器,這主要是因為犧牲層結(jié)構壓力傳感器彈性膜片很薄,厚度可做到2μm,甚至更薄。在這樣薄的結(jié)構上,如果采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構壓力傳感器的應變電阻,其厚度相對較大,對彈性膜片應力分布影響很大,不利于犧牲層結(jié)構壓力傳感器的性能優(yōu)化,因此采用多晶硅納米薄膜制作應變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術的優(yōu)點。
考慮到智能數(shù)顯壓力傳感器在使用過程中可能會出現(xiàn)實際測量壓力超過量程的狀況,設計過載保護功能是*的,這樣能讓壓力傳感器使用的更久。用戶在選用數(shù)顯壓力傳感器的時候,一定要考慮數(shù)顯壓力傳感器的過載能力,結(jié)合自己使用傳感器的測量環(huán)境,選擇合適的數(shù)顯壓力傳感器。